近日，从位于绍兴滨海新城的浙江上方电子装备有限公司徐徐驶出6辆大卡车，上面装载的是我国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD（物理气相沉积）设备，将顺利交付给国内显示屏生产企业。

PVD设备是显示屏生产中非常核心的镀膜工艺制造设备，生产电视屏、手机屏、电脑屏等都要用到。“8.6代的PVD设备，能镀膜的显示屏尺寸更大，接近于4个75英寸大小的电视屏。”“上方电子”副总经理周海龙说，这套设备已处于世界先进水平，一举打破了这一领域美日企业垄断的局面。

我国是全球最大的显示屏生产国，但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备，始终被美国和日本公司垄断。过去３年，对这一关键技术设备我国完全依赖进口。为推动核心设备国产化，2014年，国家发改委和工信部联合对重点产业项目立项，其中一个项目就是“8.5代半导体显示PVD设备研发和产业化”。当时，创立才3年的“上方电子”通过评审，一举拿下了该项目。“拿下这个项目，靠的是研发实力。”周海龙介绍，“上方电子”100多名员工中，研发人员有40多人，核心研发人员来自美国硅谷和台湾省。更为重要的是，“上方电子”此前已成功研发出5.5代半导体显示PVD设备的样机。

虽然有研发基础，但要把PVD设备从5.5代升级到8.5代，连升三级，研发难度呈几何级数上升。“设备的镀膜面积一下子增加了3倍多。”公司研发人员说，设备研发涉及数千个零部件，用到六七门交叉学科，复杂程度不言而喻。在随后的三四年时间里，“上方电子”攻克了成千上万个技术难点，获得了11项国家发明专利。尤其是自主研发的旋转阴极镀膜技术，将纳米镀层误差缩小至5%以内，材料利用率从35%提升至80%。

随着8.5代PVD设备的研发成功，国内显示屏生产企业立即抛来了“绣球”，“中国生产的显示屏今后可以使用国产设备进行镀膜，不再受制于人。”日前“上方电子”刚刚交付的首台8.6代PVD设备，则是应国内大型显示屏生产企业的需求，在8.5代基础上进行升级后的产品。